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显微CT的使用提升了失效分析的成功率

点击次数:319  发布时间:2020-07-16
 
  在电子元器件失效分析中,工程师经常要借助各种分析设备或技术方法,找到导致元器件失效的“元凶”。其中非破坏性分析在失效分析中占有举足轻重的地位。常见的非破坏性分析方法包括外部检查、PIND、密封性检测、C-SAM、X射线检查等等。近几年,三维立体成像X射线显微镜(显微CT)逐渐进入电子元器件分析领域,推动了电子元器件非破坏性分析技术的快速发展。拥有一台显微CT,就像拥有一双“透视眼”,在无损状态下便能解析各类元器件的结构,再借助于分析软件便可以重构出元器件的三维模型,快速地进行失效定位,在减少工作量、增加工作效率的同时提升失效分析的成功率。
  显微CT的成像系统主要由微焦点射线源、精密样品台、探测器、控制系统、成像和分析软件组成。微焦点射线源发射出来的X射线束在穿过待测样品时,由于样品中不同密度的材料对X射线的吸收率的不同而表现出不同的穿透率,经过探测器而形成对应的透视图像,再通过分析软件便可以重构出待测样品的三维立体图像。
  显微CT的成像扫描过程:微焦点射线源和探测器保持不动,通过转台旋转获取不同角度的透视图像,转台旋转360°,完成一次圆周扫描,获取系列视图像。三维成像过程为:首先利用一次圆周扫描获取系列透视图像,然后采用相应的重建算法,重建样品区域内被测区域的吸收系数的三维分布。根据吸收系数的三维重建,进一步通过软件可以观察被测样品内部任意截面的信息,并可以对感兴趣部分进行三维渲染和展示。
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